Browsing by Subject плазмохимическое травление

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я

or enter first few letters:  
Showing results 1 to 11 of 11
Issue DateTitleAuthor(s)
2025Анализ механизмов плазмохимического и ионно-химического травления поверхности и пути решения существующих проблемКричевский С. В.; Фильчиков Я. И.
2017Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластиныПунин К. В.; Володкин Б. О.; Братченко И. А.
2017Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной решетки для гиперспектрометраАнтонова В. А.; Харитонов С. И.; Нефедова С. А.
2009Исследование механизмов взаимодействия атомов кремния и алюминия при бомбардировке поверхности жидкой фазы металла частицами внеэлектродной плазмыСкороходов И. Ф.; Колпаков В. А.; Колпаков А. И.
2021Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием твердых масокГзиришвили Н. Г.; Харитонов С. И.; Шишкина Д. А.
2025Исследование технологии травления дифракционного микрорельефа в плазме высоковольтного газового зарядаНаумов Д. В.; Колпаков В. А.
2018Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремнияОндырбаев Н. М.; Колпаков В. А.; Ивлиев Н. А.
2018Оптимизация, изготовление и исследование двумерного делителя пучка инфракрасного диапазонаМажарова Г. Ю.; Павельев В. С.; Головашкин Д. В.
2017Плазмохимическое травление нелинейных оптических материаловКручинин М. С.; Володкин Б. О.; Братченко И. А.
2018Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптикиМихайлов Д. С.; Павельев В. С.; Полетаев С. Д.
2019Расчет, изготовление и исследование фокусатора инфракрасного излучения в кольцоСиницына А. К.; Павельев В. С.; Саноян А. Г.