Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины |
| Authors: | Пунин К. В. Володкин Б. О. Братченко И. А. |
| Keywords: | анизотропное травление кремнием плазмохимическое травление МЕМС структуры BOSCH процессы кремниевые пластины |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Пунин, К. В. Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / К. В. Пунин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроения. - Самара, 2017. - on-line |
| Abstract: | Цель работы – исследование существующих методов травления кремния и травление кремниевой пластины для создания МЭМС устройства.Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Провести анализ литературы по существующим методам получения МЭМС структур.2.Осуществить подбор технологических параметров процесса плазмохимического травления для получения МЭМС структур заданной топологии.3. Проведение эксперимента травления кремниевой пластины с помощью Bosch процесса. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47606 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Пунин_Кирилл_Владимирович_Изготовление_МЕМС_структур.pdf | 2.35 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.