1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПунин К. В.
dc.contributor.authorВолодкин Б. О.
dc.contributor.authorБратченко И. А.
dc.coverage.spatialплазмохимическое травление
dc.coverage.spatialанизотропное травление кремнием
dc.coverage.spatialкремниевые пластины
dc.coverage.spatialBOSCH процессы
dc.coverage.spatialМЕМС структуры
dc.creatorПунин К. В.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:36:04Z-
dc.date.available2025-11-27T12:36:04Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171214154724
dc.identifier.citationПунин, К. В. Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / К. В. Пунин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроения. - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47606-
dc.description.abstractЦель работы – исследование существующих методов травления кремния и травление кремниевой пластины для создания МЭМС устройства.Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Провести анализ литературы по существующим методам получения МЭМС структур.2.Осуществить подбор технологических параметров процесса плазмохимического травления для получения МЭМС структур заданной топологии.3. Проведение эксперимента травления кремниевой пластины с помощью Bosch процесса.
dc.subjectBOSCH процессы
dc.subjectанизотропное травление кремнием
dc.subjectкремниевые пластины
dc.subjectМЕМС структуры
dc.subjectплазмохимическое травление
dc.subject.rugasnti47.59.49
dc.subject.udc621.382
dc.titleИзготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Izgotovlenie-MEMS-struktur-v-obeme-kremnievoi-plastiny-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-69345
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Пунин_Кирилл_Владимирович_Изготовление_МЕМС_структур.pdf2.35 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.