Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной решетки для гиперспектрометра |
| Authors: | Антонова В. А. Харитонов С. И. Нефедова С. А. |
| Keywords: | фотошаблоны фотолитография распределение интенсивности плазмохимическое травление оптические установки интерферометр дифракционные решетки дифракционные оптические элементы гиперспектрометры высота микрорельефа вычислительный эксперимент экспонирование |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Антонова, В. А. Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной решетки для гиперспектрометра : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / В. А. Антонова ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. А. Нефедова ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2017. - on-line |
| Abstract: | Объектом изготовления и исследования является дифракционная решетка, работающая в ИК-диапазоне спектра. Цель: изготовить дифракционную решетку для гиперспектрометра с помощью стандартных методов микро- и нанотехнологий и исследовать ее характеристики. В д |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47473 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Антонова_Виктория_Александровна_Изготовление_помощью_технологии.pdf | 3.83 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.