1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАнтонова В. А.
dc.contributor.authorХаритонов С. И.
dc.contributor.authorНефедова С. А.
dc.coverage.spatialинтерферометр
dc.coverage.spatialэкспонирование
dc.coverage.spatialплазмохимическое травление
dc.coverage.spatialоптические установки
dc.coverage.spatialгиперспектрометры
dc.coverage.spatialвысота микрорельефа
dc.coverage.spatialвычислительный эксперимент
dc.coverage.spatialфотолитография
dc.coverage.spatialфотошаблоны
dc.coverage.spatialдифракционные решетки
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементы
dc.coverage.spatialраспределение интенсивности
dc.creatorАнтонова В. А.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:33:23Z-
dc.date.available2025-11-27T12:33:23Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171215144643
dc.identifier.citationАнтонова, В. А. Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной решетки для гиперспектрометра : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / В. А. Антонова ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. А. Нефедова ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47473-
dc.description.abstractОбъектом изготовления и исследования является дифракционная решетка, работающая в ИК-диапазоне спектра. Цель: изготовить дифракционную решетку для гиперспектрометра с помощью стандартных методов микро- и нанотехнологий и исследовать ее характеристики. В д
dc.subjectвысота микрорельефа
dc.subjectвычислительный эксперимент
dc.subjectгиперспектрометры
dc.subjectдифракционные оптические элементы
dc.subjectдифракционные решетки
dc.subjectинтерферометр
dc.subjectоптические установки
dc.subjectплазмохимическое травление
dc.subjectраспределение интенсивности
dc.subjectфотолитография
dc.subjectфотошаблоны
dc.subjectэкспонирование
dc.subject.rugasnti29.31
dc.subject.udc535.42
dc.titleИзготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной решетки для гиперспектрометра
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorматематики и электроники
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Izgotovlenie-s-pomoshu-tehnologii-litografii-i-eksperimentalnoe-issledovanie-harakteristik-difrakcionnoi-reshetki-dlya-giperspektrometra-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-69058
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Антонова_Виктория_Александровна_Изготовление_помощью_технологии.pdf3.83 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.