Плазмохимическое травление нелинейных оптических материалов

Abstract

Ниобат лития обладает уникальной совокупностью электрических, оптических и других свойств, что делает его одним из самых перспективных материалов для создания устройств функциональной электроники, микросистемной техники и нелинейной оптики. Однако трудности его размерной обработки в значительной мере сдерживают изготовление приборов на его основе. Поэтому представляет интерес изучение механизмов плазмохимического травления ниобата лития для получения в его объеме микро и наноструктур. Цель работы - разработка методов травления нелинейных оптических материалов, таких как ниобат лития. Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: Подготовка литературного обзора по существующим методам травления ниобата лития и карбоната кальция. Подбор подходящих методов травления ниобата лития. Отработка технологических режимов травления ниобата лития и карбоната кальция.