Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния |
| Authors: | Ондырбаев Н. М. Колпаков В. А. Ивлиев Н. А. |
| Keywords: | низкотемпературная плазма диоксид кремния физико-математические модели структурная схема программы плазмохимическое травление |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Ондырбаев, Н. М. Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния : вып. квалификац. работа по спец. "Конструирование и технология электронных средств" / Н. М. Ондырбаев ; рук. работы В. А. Колпаков; рец. Н. А. Ивлиев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line |
| Abstract: | В данной работе приведено описание физико-математической модели процесса травления диоксида кремния в потоке частиц низкотемпературной плазмы высоковольтного газового разряда (НПВГР). |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48758 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Ондырбаев_Нурболат_Мырзагелдыулы_МОДЕЛИРОВАНИЕ_МЕХАНИЗМОВ_ТРАВЛЕНИЯ_ЧАСТИЦАМИ.pdf | 1.83 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.