1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorОндырбаев Н. М.
dc.contributor.authorКолпаков В. А.
dc.contributor.authorИвлиев Н. А.
dc.coverage.spatialнизкотемпературная плазма
dc.coverage.spatialплазмохимическое травление
dc.coverage.spatialдиоксид кремния
dc.coverage.spatialфизико-математические модели
dc.coverage.spatialструктурная схема программы
dc.creatorОндырбаев Н. М.
dc.date2018
dc.date.accessioned2025-11-27T12:31:33Z-
dc.date.available2025-11-27T12:31:33Z-
dc.date.issued2018
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180720153201
dc.identifier.citationОндырбаев, Н. М. Моделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния : вып. квалификац. работа по спец. "Конструирование и технология электронных средств" / Н. М. Ондырбаев ; рук. работы В. А. Колпаков; рец. Н. А. Ивлиев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2018. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48758-
dc.description.abstractВ данной работе приведено описание физико-математической модели процесса травления диоксида кремния в потоке частиц низкотемпературной плазмы высоковольтного газового разряда (НПВГР).
dc.subjectнизкотемпературная плазма
dc.subjectдиоксид кремния
dc.subjectфизико-математические модели
dc.subjectструктурная схема программы
dc.subjectплазмохимическое травление
dc.subject.rugasnti29.03
dc.subject.udc53.145
dc.titleМоделирование механизмов травления частицами низкотемпературной плазмы диоксида кремния
dc.typeText
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Modelirovanie-mehanizmov-travleniya-chasticami-nizkotemperaturnoi-plazmy-dioksida-kremniya-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Konstruirovanie-i-tehnologiya-elektronnyh-sredstv-74935
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Ондырбаев_Нурболат_Мырзагелдыулы_МОДЕЛИРОВАНИЕ_МЕХАНИЗМОВ_ТРАВЛЕНИЯ_ЧАСТИЦАМИ.pdf1.83 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.