Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием твердых масок

Abstract

Объектом исследования является сухое травление кремния черезтвердые маски алюминия и хрома.Цель работы – исследование особенностей и селективности сухоготравления кремния с использованием твердых масок.В ходе выполнения работы были исследованы возможные методынанесения тонкопленочного покрытия; исследованы методы травлениякремния; исследованы способы измерения глубины травления. Проведенасерия экспериментов по нанесению маскирующего покрытия методоммагнетронного распыления и травлению пластин кремния методом Bosch-процесса. Сделан анализ полученных экспериментальных данных.Определена селективность и особенности исследуемых тонкопленочныхпокрытий.Практический результат работы состоит в выявлении особенностей иселективности сухого травления кремния с использованием твердых масок сцелью дальнейшего определения оптимальной толщины маски длявыполнения травления в заданных условиях на заданную глубину.