1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Исследование механизмов взаимодействия атомов кремния и алюминия при бомбардировке поверхности жидкой фазы металла частицами внеэлектродной плазмы
Authors: Скороходов И. Ф.
Колпаков В. А.
Колпаков А. И.
Keywords: дифракционные оптические элементы
ионно-электронный поток
внеэлектродная плазма
плазмохимическое травление
кремниевые подложки
литография
механизм взаимодействия атомов
формирование дифракционного микрорельефа
Issue Date: 2009
Citation: Скороходов, И. Ф. Исследование механизмов взаимодействия атомов кремния и алюминия при бомбардировке поверхности жидкой фазы металла частицами внеэлектродной плазмы / И. Ф. Скороходов, В. А. Колпаков, А. И. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - Ч. 2. - С. 36-37.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6024
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-0672-8_2009-36-37.pdf99.2 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.