1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСкороходов И. Ф.
dc.contributor.authorКолпаков В. А.
dc.contributor.authorКолпаков А. И.
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементы
dc.coverage.spatialионно-электронный поток
dc.coverage.spatialвнеэлектродная плазма
dc.coverage.spatialплазмохимическое травление
dc.coverage.spatialкремниевые подложки
dc.coverage.spatialлитография
dc.coverage.spatialмеханизм взаимодействия атомов
dc.coverage.spatialформирование дифракционного микрорельефа
dc.creatorСкороходов И. Ф., Колпаков В. А., Колпаков А. И.
dc.date2009
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:12Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:12Z-
dc.date.issued2009
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\559473
dc.identifier.citationСкороходов, И. Ф. Исследование механизмов взаимодействия атомов кремния и алюминия при бомбардировке поверхности жидкой фазы металла частицами внеэлектродной плазмы / И. Ф. Скороходов, В. А. Колпаков, А. И. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. М. Н. Пиганова. - Самара : Изд-во СГАУ, 2009. - Ч. 2. - С. 36-37.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6024-
dc.languagerus
dc.relation.ispartofАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. 12-14 мая 2009 г. - Текст : электронный
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций. - Ч. 2
dc.subjectдифракционные оптические элементы
dc.subjectионно-электронный поток
dc.subjectвнеэлектродная плазма
dc.subjectплазмохимическое травление
dc.subjectкремниевые подложки
dc.subjectлитография
dc.subjectмеханизм взаимодействия атомов
dc.subjectформирование дифракционного микрорельефа
dc.titleИсследование механизмов взаимодействия атомов кремния и алюминия при бомбардировке поверхности жидкой фазы металла частицами внеэлектродной плазмы
dc.typeText
dc.citation.epage37
dc.citation.spage36
local.contributor.authorСкороходов И. Ф.
local.contributor.authorКолпаков В. А.
local.contributor.authorКолпаков А. И.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-mehanizmov-vzaimodeistviya-atomov-kremniya-i-aluminiya-pri-bombardirovke-poverhnosti-zhidkoi-fazy-metalla-chasticami-vneelektrodnoi-plazmy-111100
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-mehanizmov-vzaimodeistviya-atomov-kremniya-i-aluminiya-pri-bombardirovke-poverhnosti-zhidkoi-fazy-metalla-chasticami-vneelektrodnoi-plazmy-111100
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-0672-8_2009-36-37.pdf99.2 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.