Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Анализ механизмов плазмохимического и ионно-химического травления поверхности и пути решения существующих проблем |
| Authors: | Кричевский С. В. Фильчиков Я. И. |
| Keywords: | электронно-стимулированное радикальное травление ионно-стимулированное травление ионно-химическое травление методы обработки поверхности плазмохимическое травление |
| Issue Date: | 2025 |
| Citation: | Кричевский, С. В. Анализ механизмов плазмохимического и ионно-химического травления поверхности и пути решения существующих проблем / С. В. Кричевский, Я. И. Фильчиков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 20-23 мая 2025 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2025. - С. 117-120. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5649 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| 978-5-903943-22-7_2025-117-120.pdf | 76.05 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.