1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКричевский С. В.
dc.contributor.authorФильчиков Я. И.
dc.coverage.spatialэлектронно-стимулированное радикальное травление
dc.coverage.spatialионно-стимулированное травление
dc.coverage.spatialионно-химическое травление
dc.coverage.spatialметоды обработки поверхности
dc.coverage.spatialплазмохимическое травление
dc.creatorКричевский С. В., Фильчиков Я. И.
dc.date2025
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:40Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:40Z-
dc.date.issued2025
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\575097
dc.identifier.citationКричевский, С. В. Анализ механизмов плазмохимического и ионно-химического травления поверхности и пути решения существующих проблем / С. В. Кричевский, Я. И. Фильчиков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 20-23 мая 2025 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2025. - С. 117-120.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5649-
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 20-23 мая 2025 г.). - Текст : электронный
dc.subjectэлектронно-стимулированное радикальное травление
dc.subjectионно-стимулированное травление
dc.subjectионно-химическое травление
dc.subjectметоды обработки поверхности
dc.subjectплазмохимическое травление
dc.titleАнализ механизмов плазмохимического и ионно-химического травления поверхности и пути решения существующих проблем
dc.typeText
dc.citation.epage120
dc.citation.spage117
local.contributor.authorКричевский С. В.
local.contributor.authorФильчиков Я. И.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Analiz-mehanizmov-plazmohimicheskogo-i-ionnohimicheskogo-travleniya-poverhnosti-i-puti-resheniya-sushestvuushih-problem-115167
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Analiz-mehanizmov-plazmohimicheskogo-i-ionnohimicheskogo-travleniya-poverhnosti-i-puti-resheniya-sushestvuushih-problem-115167
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903943-22-7_2025-117-120.pdf76.05 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.