Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптики |
| Authors: | Михайлов Д. С. Павельев В. С. Полетаев С. Д. |
| Keywords: | анизотропное травление кремнием BOSCH процессы плазмохимическое травление источник индуктивно-связанной плазмы дифракционная оптика |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Михайлов, Д. С. Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптики : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. С. Михайлов ; рук. работы В. С. Павельев; рец. С. Д. Полетаев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эл. - Самара, 2018. - on-line |
| Abstract: | В данной работе рассматриваются вопросы, связанные с методами анизотропного плазмохимического травления.Цель работы – получение трехуровневого рельефа в кремниевой подложке методом глубокого анизотропного плазмохимического травления.Рассмотрены достоинс |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48641 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Михайлов_Дмитрий_Сергеевич_Разработка_технологии_изготовления_трехуровневого.pdf | 1.55 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.