1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorМихайлов Д. С.
dc.contributor.authorПавельев В. С.
dc.contributor.authorПолетаев С. Д.
dc.coverage.spatialBOSCH процессы
dc.coverage.spatialдифракционная оптика
dc.coverage.spatialисточник индуктивно-связанной плазмы
dc.coverage.spatialанизотропное травление кремнием
dc.coverage.spatialплазмохимическое травление
dc.creatorМихайлов Д. С.
dc.date2018
dc.date.accessioned2025-11-27T12:30:06Z-
dc.date.available2025-11-27T12:30:06Z-
dc.date.issued2018
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180718133421
dc.identifier.citationМихайлов, Д. С. Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптики : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Д. С. Михайлов ; рук. работы В. С. Павельев; рец. С. Д. Полетаев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эл. - Самара, 2018. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/48641-
dc.description.abstractВ данной работе рассматриваются вопросы, связанные с методами анизотропного плазмохимического травления.Цель работы – получение трехуровневого рельефа в кремниевой подложке методом глубокого анизотропного плазмохимического травления.Рассмотрены достоинс
dc.subjectанизотропное травление кремнием
dc.subjectBOSCH процессы
dc.subjectплазмохимическое травление
dc.subjectисточник индуктивно-связанной плазмы
dc.subjectдифракционная оптика
dc.subject.rugasnti29.31
dc.subject.udc535.42
dc.titleРазработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптики
dc.typeText
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Razrabotka-tehnologii-izgotovleniya-trehurovnevogo-kremnievogo-mikrorelefa-dlya-zadach-difrakcionnoi-optiki-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-74780
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Михайлов_Дмитрий_Сергеевич_Разработка_технологии_изготовления_трехуровневого.pdf1.55 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.