Title: Исследование технологии травления дифракционного микрорельефа в плазме высоковольтного газового заряда
Authors: Наумов Д. В.
Колпаков В. А.
Keywords: высоковольтный газовый разряд
диоксид кремния
математическое моделирование
схема плазмохимического реактора
плазмохимическое травление
плазма тлеющего разряда
низкотемпературная плазма
Issue Date: 2025
Citation: Наумов, Д. В. Исследование технологии травления дифракционного микрорельефа в плазме высоковольтного газового заряда / Д. В. Наумов, В. А. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 20-23 мая 2025 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2025. - С. 122-124.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5689
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-903943-22-7_2025-122-124.pdf66.03 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.