Исследование технологии травления дифракционного микрорельефа в плазме высоковольтного газового заряда

Наумов Д. В.; Колпаков В. А.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Наумов Д. В.
dc.contributor.author	Колпаков В. А.
dc.coverage.spatial	высоковольтный газовый разряд
dc.coverage.spatial	диоксид кремния
dc.coverage.spatial	математическое моделирование
dc.coverage.spatial	схема плазмохимического реактора
dc.coverage.spatial	плазмохимическое травление
dc.coverage.spatial	плазма тлеющего разряда
dc.coverage.spatial	низкотемпературная плазма
dc.creator	Наумов Д. В., Колпаков В. А.
dc.date	2025
dc.date.accessioned	2025-08-22T12:09:43Z	-
dc.date.available	2025-08-22T12:09:43Z	-
dc.date.issued	2025
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\575099
dc.identifier.citation	Наумов, Д. В. Исследование технологии травления дифракционного микрорельефа в плазме высоковольтного газового заряда / Д. В. Наумов, В. А. Колпаков // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 20-23 мая 2025 г.) / Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под ред. В. А. Зеленского. - Самара : [Артель], 2025. - С. 122-124.
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/5689	-
dc.source	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф. (г.Самара, 20-23 мая 2025 г.). - Текст : электронный
dc.subject	высоковольтный газовый разряд
dc.subject	диоксид кремния
dc.subject	математическое моделирование
dc.subject	схема плазмохимического реактора
dc.subject	плазмохимическое травление
dc.subject	плазма тлеющего разряда
dc.subject	низкотемпературная плазма
dc.title	Исследование технологии травления дифракционного микрорельефа в плазме высоковольтного газового заряда
dc.type	Text
dc.citation.epage	124
dc.citation.spage	122
local.contributor.author	Наумов Д. В.
local.contributor.author	Колпаков В. А.
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-tehnologii-travleniya-difrakcionnogo-mikrorelefa-v-plazme-vysokovoltnogo-gazovogo-zaryada-115169
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Issledovanie-tehnologii-travleniya-difrakcionnogo-mikrorelefa-v-plazme-vysokovoltnogo-gazovogo-zaryada-115169
Appears in Collections:	Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:

File	Size	Format
978-5-903943-22-7_2025-122-124.pdf	66.03 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record