1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва

Browsing by Subject фотолитография

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я

or enter first few letters:  
Showing results 1 to 20 of 25  next >
Issue DateTitleAuthor(s)
2019Влияние режимов локального жидкостного травления стеклянных подложек на профиль полученного микроканалаМиненков П. И.; Агафонов А. Н.; Саноян А. Г.
2022Изготовление и исследование газовых сенсоров, выполненных с помощью метода диэлектрофореза на основе окисленных углеродных нанотрубокЯкуненков К. Е.; Трипати Н.; Ерендеев Ю. П.
2017Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной решетки для гиперспектрометраАнтонова В. А.; Харитонов С. И.; Нефедова С. А.
2005Изучение технологии изготовления элементов гибридных интегральных микросхем методом фотолитографииДмитриев В. Д.; Меркулов А. И.
1991Исследование конструкций полупроводниковых биполярных интегральных микросхемПиганов М. Н.; Дмитриев В. Д.; Леднев М. А.
2021Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием мягких масокГзиришвили Л. Г.; Харитонов С. И.; Шишкина Д. А.
2021Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием твердых масокГзиришвили Н. Г.; Харитонов С. И.; Шишкина Д. А.
2011Метод формирования элементов дифракционной оптики с повышенной разрешающей способностью на основе тонких пленок хрома, термически окисленных локальным воздействАгафонов А. Н.
2022Микрофлюидные системы на стеклянных подложках, изготовленные методом фрезерованияЛяпина А. А.; Агафонов А. Н.; Ерендеев Ю. П.
2020Оптимизация и исследование многопорядкового дифракционного делителя пучка лазера инфракрасного диапазонаИванова Т. А.; Павельев В. С.; Лизункова Д. А.
2020Оптимизация и исследование фокусирующего элемента дифракционной микрооптики ИК-диапазонаАсанин Л. А.; Павельев В. С.
2018Оптимизация, изготовление и исследование двумерного делителя пучка инфракрасного диапазонаМажарова Г. Ю.; Павельев В. С.; Головашкин Д. В.
2021Получение тонких диэлектрических пленок методом реактивного магнетронного распыленияЗолотов А. Д.; Карпеев С. В.; Шишкина Д. А.
2016Разработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления устройств микрофлюидикиГоровенко Т. А.; Агафонов А. Н.; Платонов В. И.
2021Разработка технологии изготовления и исследование характеристик тонкопленочного резистораГуреев Н. М.; Агафонов А. Н.; Шишкина Д. А.
2016Разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполненииАндреева Т. В.; Павельев В. С.; Моисеев О. Ю.
2021Разработка участка производства микроэлектронного изделия типа КМ531ИР20Зверев С. Д.; Архипов А. В.; Шишкина Д. А.
2018Расчет, изготовление и исследование линзы Френеля инфракрасного диапазонаАблогина А. А.; Харитонов С. И.; Хонина С. Н.
2019Расчет, изготовление и исследование фокусатора ИК-излучения в точкуБерещук Е. С.; Харитонов С. И.; Саноян А. Г.
2018Расчет, изготовление и исследование элемента, формирующего вращающийся пучок лазерного излучения инфракрасного диапазонаКудряшов Д. В.; Павельев В. С.; Хонина С. Н.
Showing results 1 to 20 of 25  next >