Samara University Repository
Welcome to the Samara University repository!
This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.
The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.
Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.
Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).
Use the archive for study, research, and professional development!
| Title: | Разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполнении |
| Authors: | Андреева Т. В. Павельев В. С. Моисеев О. Ю. |
| Keywords: | микроэлектромеханические системы (МЭМС) двухосевые виброгироскопы кремний-на-изоляторе технология LIGA фотолитография травление кремния виброгироскопы глубокое реактивное ионное травление |
| Issue Date: | 2016 |
| Citation: | Андреева, Т. В. Разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполнении : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Т. В. Андреева ; рук. работы В. С. Павельев; рец. О. Ю. Моисеев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения. - Самара, 2016. - on-line |
| Abstract: | Объектами исследования являются модель симметрично- разделенного микроэлектромеханического виброгироскопа и технология его изготовления. Цель работы – разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа. Проведено моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа, спроектирована объемная модель микроэлектромеханического симметрично-разделенного виброгироскопа в среде моделирования CoventorWare, разработана технология изготовления смоделированного виброгироскопа, исследованы процессы фотолитографии и глубокого реактивного ионного травления кремния. Работа может быть рекомендована студентам направления подготовки 210100 «Электроника и наноэлектроника». |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/46925 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Андреева_Татьяна_Витальевна_Разработка_технологии_изготовления.pdf | 5.93 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.