1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАндреева Т. В.
dc.contributor.authorПавельев В. С.
dc.contributor.authorМоисеев О. Ю.
dc.coverage.spatialтехнология LIGA
dc.coverage.spatialтравление кремния
dc.coverage.spatialфотолитография
dc.coverage.spatialдвухосевые виброгироскопы
dc.coverage.spatialглубокое реактивное ионное травление
dc.coverage.spatialвиброгироскопы
dc.coverage.spatialмикроэлектромеханические системы (МЭМС)
dc.coverage.spatialкремний-на-изоляторе
dc.creatorАндреева Т. В.
dc.date2016
dc.date.accessioned2025-11-27T12:10:45Z-
dc.date.available2025-11-27T12:10:45Z-
dc.date.issued2016
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20160912155743
dc.identifier.citationАндреева, Т. В. Разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполнении : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Т. В. Андреева ; рук. работы В. С. Павельев; рец. О. Ю. Моисеев ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения. - Самара, 2016. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/46925-
dc.description.abstractОбъектами исследования являются модель симметрично- разделенного микроэлектромеханического виброгироскопа и технология его изготовления. Цель работы – разработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа. Проведено моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа, спроектирована объемная модель микроэлектромеханического симметрично-разделенного виброгироскопа в среде моделирования CoventorWare, разработана технология изготовления смоделированного виброгироскопа, исследованы процессы фотолитографии и глубокого реактивного ионного травления кремния. Работа может быть рекомендована студентам направления подготовки 210100 «Электроника и наноэлектроника».
dc.subjectвиброгироскопы
dc.subjectглубокое реактивное ионное травление
dc.subjectдвухосевые виброгироскопы
dc.subjectкремний-на-изоляторе
dc.subjectмикроэлектромеханические системы (МЭМС)
dc.subjectтехнология LIGA
dc.subjectтравление кремния
dc.subjectфотолитография
dc.subject.rugasnti29.29
dc.subject.udc539.1
dc.titleРазработка технологии изготовления и моделирование симметрично-разделенного виброгироскопа в микросистемном исполнении
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут электроники и приборостроения
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Razrabotka-tehnologii-izgotovleniya-i-modelirovanie-simmetrichnorazdelennogo-vibrogiroskopa-v-mikrosistemnom-ispolnenii-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-59093
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Андреева_Татьяна_Витальевна_Разработка_технологии_изготовления.pdf5.93 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.