Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Разработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления устройств микрофлюидики |
| Authors: | Горовенко Т. А. Агафонов А. Н. Платонов В. И. |
| Keywords: | очистка поверхности изготовление микроканалов маскирование микрофлюидные устройства микрофлюидные чипы натриевые стекла предметное стекло стеклянные подложки фотолитография герметизация микрочипов глубокое жидкостное травление дефекты |
| Issue Date: | 2016 |
| Citation: | Горовенко, Т. А. Разработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления устройств микрофлюидики : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Т. А. Горовенко ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроен. - Самара, 2016. - on-line |
| Abstract: | Цель работы - разработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления микрофлюидных устройств Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Изучение свойств материалов применяемых при изготовлении м |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/46481 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Горовенко_Тарас_Андреевич_Разработка_технологии_глубокого_жидкостного.pdf | 1.77 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.