1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГоровенко Т. А.
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.
dc.contributor.authorПлатонов В. И.
dc.coverage.spatialочистка поверхности
dc.coverage.spatialпредметное стекло
dc.coverage.spatialфотолитография
dc.coverage.spatialдефекты
dc.coverage.spatialизготовление микроканалов
dc.coverage.spatialглубокое жидкостное травление
dc.coverage.spatialгерметизация микрочипов
dc.coverage.spatialстеклянные подложки
dc.coverage.spatialмикрофлюидные устройства
dc.coverage.spatialмикрофлюидные чипы
dc.coverage.spatialнатриевые стекла
dc.coverage.spatialмаскирование
dc.creatorГоровенко Т. А.
dc.date2016
dc.date.accessioned2025-11-27T12:10:41Z-
dc.date.available2025-11-27T12:10:41Z-
dc.date.issued2016
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20160912154315
dc.identifier.citationГоровенко, Т. А. Разработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления устройств микрофлюидики : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Т. А. Горовенко ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроен. - Самара, 2016. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/46481-
dc.description.abstractЦель работы - разработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления микрофлюидных устройств Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Изучение свойств материалов применяемых при изготовлении м
dc.subjectгерметизация микрочипов
dc.subjectглубокое жидкостное травление
dc.subjectдефекты
dc.subjectизготовление микроканалов
dc.subjectмаскирование
dc.subjectмикрофлюидные устройства
dc.subjectмикрофлюидные чипы
dc.subjectнатриевые стекла
dc.subjectочистка поверхности
dc.subjectпредметное стекло
dc.subjectстеклянные подложки
dc.subjectфотолитография
dc.subject.rugasnti29.29
dc.subject.udc539.1
dc.titleРазработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления устройств микрофлюидики
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.contributor.authorИнститут электроники и приборостроения
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Razrabotka-tehnologii-glubokogo-zhidkostnogo-travleniya-steklyannyh-podlozhek-dlya-izgotovleniya-ustroistv-mikrofluidiki-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-59092
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Горовенко_Тарас_Андреевич_Разработка_технологии_глубокого_жидкостного.pdf1.77 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.