Title: Изготовление и исследование газовых сенсоров, выполненных с помощью метода диэлектрофореза на основе окисленных углеродных нанотрубок
Authors: Якуненков К. Е.
Трипати Н.
Ерендеев Ю. П.
Keywords: диэлектрофорез
фотолитография
углеродные нанотрубки
оксидирование
окисленные углеродные нанотрубки
метод диэлектрофореза
газовые сенсоры
Issue Date: 2022
Citation: Якуненков, К. Е. Изготовление и исследование газовых сенсоров, выполненных с помощью метода диэлектрофореза на основе окисленных углеродных нанотрубок : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / К. Е. Якуненков ; рук. работы Н. Трипати ; нормоконтролер Ю. П. Ерендеев ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики и. - Самара, 2022. - 1 файл (2,28 Мб). - Текст : электронный
Abstract: Объектом исследования является газовый датчик на основе углеродных нанотрубок. Цель работы – изготовление и исследование газовых сенсоров,выполненных с помощью метода диэлектрофореза на основе окисленных углеродных нанотрубок. В процессе работы был использован метод оксидирования углеродныхнанотрубок в сильных кислотах. Для изготовления электродов сенсора был использован стандартный процесс фотолитографии. Для нанесения окисленных углеродных нанотрубок был использован метод диэлектрофореза. В результате работы был изготовлен и исследован сенсор газа NO 2 на окисленных углеродных нанотрубках. Показана зависимость изменениясопротивления сенсора от концентрации газа NO 2 , рассчитана чувствительность и время детектирования и восстановления для трёх концентраций газа NO 2 .
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/53851
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы



Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.