Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Влияние режимов локального жидкостного травления стеклянных подложек на профиль полученного микроканала |
| Authors: | Миненков П. И. Агафонов А. Н. Саноян А. Г. |
| Keywords: | неровности поверхности селективность травление фотолитография изотропное травление микрорельефы микрофлюидные чипы предметное стекло дефекты |
| Issue Date: | 2019 |
| Citation: | Миненков, П. И. Влияние режимов локального жидкостного травления стеклянных подложек на профиль полученного микроканала : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / П. И. Миненков ; рук. работы А. Н. Агафонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line |
| Abstract: | Цель работы: изучение зависимости влияния различных режимов локального жидкостного травления на формирование получаемых микроканалов. Исходя из поставленной цели, были сформулированы следующие задачи: 1) Анализ современных методов формирования микрорельефов в стеклянных подложках. 2) Изучение особенностей проведения процесса жидкостного химического травления. 3) Изучение факторов, определяющих режимы травления. 4) Экспериментальные исследования влияния режимов жидкостного травления на профиль формируемого микроканала. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52686 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Миненков_Павел_Игоревич_Влияние_режимов_локального_жидкостного.pdf | 1.84 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.