1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorМиненков П. И.
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.
dc.contributor.authorСаноян А. Г.
dc.coverage.spatialселективность
dc.coverage.spatialизотропное травление
dc.coverage.spatialпредметное стекло
dc.coverage.spatialфотолитография
dc.coverage.spatialдефекты
dc.coverage.spatialтравление
dc.coverage.spatialмикрорельефы
dc.coverage.spatialмикрофлюидные чипы
dc.coverage.spatialнеровности поверхности
dc.creatorМиненков П. И.
dc.date2019
dc.date.accessioned2025-11-27T12:26:04Z-
dc.date.available2025-11-27T12:26:04Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20190808094959
dc.identifier.citationМиненков, П. И. Влияние режимов локального жидкостного травления стеклянных подложек на профиль полученного микроканала : вып. квалификац. работа по направлению подгот. "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / П. И. Миненков ; рук. работы А. Н. Агафонов ; нормоконтролер А. Г. Саноян ; Минобрнауки России, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Ф. - Самаpа, 2019. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/52686-
dc.description.abstractЦель работы: изучение зависимости влияния различных режимов локального жидкостного травления на формирование получаемых микроканалов. Исходя из поставленной цели, были сформулированы следующие задачи: 1) Анализ современных методов формирования микрорельефов в стеклянных подложках. 2) Изучение особенностей проведения процесса жидкостного химического травления. 3) Изучение факторов, определяющих режимы травления. 4) Экспериментальные исследования влияния режимов жидкостного травления на профиль формируемого микроканала.
dc.subjectнеровности поверхности
dc.subjectселективность
dc.subjectтравление
dc.subjectфотолитография
dc.subjectизотропное травление
dc.subjectмикрорельефы
dc.subjectмикрофлюидные чипы
dc.subjectпредметное стекло
dc.subjectдефекты
dc.subject.rugasnti55.03
dc.subject.udc621.794.4
dc.titleВлияние режимов локального жидкостного травления стеклянных подложек на профиль полученного микроканала
dc.typeText
local.contributor.authorМинобрнауки России
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Vliyanie-rezhimov-lokalnogo-zhidkostnogo-travleniya-steklyannyh-podlozhek-na-profil-poluchennogo-mikrokanala-vyp-kvalifikac-rabota-po-napravleniu-podgot-Elektronika-i-nanoelektronika-uroven-bakalavriata-83455
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Миненков_Павел_Игоревич_Влияние_режимов_локального_жидкостного.pdf1.84 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.