Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Изучение технологии изготовления элементов гибридных интегральных микросхем методом фотолитографии |
| Authors: | Дмитриев В. Д. Меркулов А. И. |
| Keywords: | фотолитография гибридные интегральные микросхемы (ГИМС) тонкопленочные гибридные интегральные микросхемы метод фотолитографии интегральные микросхемы |
| Issue Date: | 2005 |
| Publisher: | СГАУ |
| Citation: | Изучение технологии изготовления элементов гибридных интегральных микросхем методом фотолитографии [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе по курсу "Технолог. процессы микроэлектроники" / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, А. И. Меркулов. - Самара : СГАУ, 2005. - on-line |
| Abstract: | Приведены теоретические сведения по технологии изготовления элементов тонкопленочных гибридных интегральных микросхем методом фотолитографии. Рассмотрены вопросы повышения качества и точности фотолитографического процесса, приведен типовой технологический Используемые программы: Adobe Acrobat Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39971 |
| Appears in Collections: | Методические издания |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Дмитриев В.Д. Изучение технологии 2005.pdf | 274.79 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.