Изучение технологии изготовления элементов гибридных интегральных микросхем методом фотолитографии

Дмитриев В. Д.; Меркулов А. И.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Дмитриев В. Д.
dc.contributor.author	Меркулов А. И.
dc.coverage.spatial	гибридные интегральные микросхемы (ГИМС)
dc.coverage.spatial	интегральные микросхемы
dc.coverage.spatial	тонкопленочные гибридные интегральные микросхемы
dc.coverage.spatial	фотолитография
dc.coverage.spatial	метод фотолитографии
dc.date	2005
dc.date.accessioned	2025-11-26T12:19:16Z	-
dc.date.available	2025-11-26T12:19:16Z	-
dc.date.issued	2005
dc.identifier.identifier	RU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/И 395-672153
dc.identifier.citation	Изучение технологии изготовления элементов гибридных интегральных микросхем методом фотолитографии [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе по курсу "Технолог. процессы микроэлектроники" / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, А. И. Меркулов. - Самара : СГАУ, 2005. - on-line
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/39971	-
dc.description.abstract	Приведены теоретические сведения по технологии изготовления элементов тонкопленочных гибридных интегральных микросхем методом фотолитографии. Рассмотрены вопросы повышения качества и точности фотолитографического процесса, приведен типовой технологический
dc.description.abstract	Используемые программы: Adobe Acrobat
dc.description.abstract	Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
dc.language	rus
dc.publisher	СГАУ
dc.relation.isformatof	Изучение технологии изготовления элементов гибридных интегральных микросхем методом фотолитографии [Текст] : метод. указания к лаб. работе по курсу "Т
dc.subject	гибридные интегральные микросхемы (ГИМС)
dc.subject	интегральные микросхемы
dc.subject	метод фотолитографии
dc.subject	тонкопленочные гибридные интегральные микросхемы
dc.subject	фотолитография
dc.subject.rugasnti	47.33.31
dc.subject.udc	621.382.049.77(075)
dc.subject.udc	СГАУ:6(075)
dc.title	Изучение технологии изготовления элементов гибридных интегральных микросхем методом фотолитографии
dc.type	Text
local.contributor.author	Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-ukazaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-elementov-gibridnyh-integralnyh-mikroshem-metodom-fotolitografii-Elektronnyi-resurs-metod-ukazaniya-k-lab-rabote-po-kursu-Tehnolog-processy-mikroelektroniki-53111
Appears in Collections:	Методические издания

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Дмитриев В.Д. Изучение технологии 2005.pdf		274.79 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record