Browsing by Subject BOSCH процессы

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я

or enter first few letters:  
Showing results 1 to 6 of 6
Issue DateTitleAuthor(s)
2017Глубокое анизотропное плазмохимическое травление кремниевой подложкиШурупова А. С.; Володкин Б. О.; Братченко И. А.
2017Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластиныПунин К. В.; Володкин Б. О.; Братченко И. А.
2021Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием мягких масокГзиришвили Л. Г.; Харитонов С. И.; Шишкина Д. А.
2021Исследование особенностей и селективности сухого травления кремния с использованием твердых масокГзиришвили Н. Г.; Харитонов С. И.; Шишкина Д. А.
2020Получение маскирующих покрытий методом электронной литографии для сухого травленияХоробров В. С.; Паранин В. Д.
2018Разработка технологии изготовления трехуровневого кремниевого микрорельефа для задач дифракционной оптикиМихайлов Д. С.; Павельев В. С.; Полетаев С. Д.