Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Глубокое анизотропное плазмохимическое травление кремниевой подложки |
| Authors: | Шурупова А. С. Володкин Б. О. Братченко И. А. |
| Keywords: | BOSCH процессы подбор параметров индуктивно-связанная плазма анизотропное плазмохимическое травление |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Шурупова, А. С. Глубокое анизотропное плазмохимическое травление кремниевой подложки : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. С. Шурупова ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2017. - on-line |
| Abstract: | В данной работе разбираются вопросы, связанные с методамианизотропного плазмохимического травления.Цель работы – разработка методов глубокого анизотропного травлениякремния.Задачи:1) Провести анализ существующих методов глубокого анизотропноготравления кремния.2) Разработать метод глубокого анизотропного травления кремния спомощью плазмохимического травления в газах C4F8 / SF6.3) Оптимизация параметров плазмохимического травления кремниядля получения необходимых параметров процесса: скорости травления,вертикальности стенок и латерального разрешения. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47582 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Шурупова_Александра_Сергеевна_Глубокое_анизатропное_плазмохическое_травление.pdf | 2.43 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.