1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorШурупова А. С.
dc.contributor.authorВолодкин Б. О.
dc.contributor.authorБратченко И. А.
dc.coverage.spatialиндуктивно-связанная плазма
dc.coverage.spatialподбор параметров
dc.coverage.spatialанизотропное плазмохимическое травление
dc.coverage.spatialBOSCH процессы
dc.creatorШурупова А. С.
dc.date2017
dc.date.accessioned2025-11-27T12:34:45Z-
dc.date.available2025-11-27T12:34:45Z-
dc.date.issued2017
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171214160804
dc.identifier.citationШурупова, А. С. Глубокое анизотропное плазмохимическое травление кремниевой подложки : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. С. Шурупова ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2017. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/47582-
dc.description.abstractВ данной работе разбираются вопросы, связанные с методамианизотропного плазмохимического травления.Цель работы – разработка методов глубокого анизотропного травлениякремния.Задачи:1) Провести анализ существующих методов глубокого анизотропноготравления кремния.2) Разработать метод глубокого анизотропного травления кремния спомощью плазмохимического травления в газах C4F8 / SF6.3) Оптимизация параметров плазмохимического травления кремниядля получения необходимых параметров процесса: скорости травления,вертикальности стенок и латерального разрешения.
dc.subjectBOSCH процессы
dc.subjectподбор параметров
dc.subjectиндуктивно-связанная плазма
dc.subjectанизотропное плазмохимическое травление
dc.subject.rugasnti47.59.49
dc.subject.udc621.382
dc.titleГлубокое анизотропное плазмохимическое травление кремниевой подложки
dc.typeText
local.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерации
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/VKR/Glubokoe-anizotropnoe-plazmohimicheskoe-travlenie-kremnievoi-podlozhki-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-69334
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Шурупова_Александра_Сергеевна_Глубокое_анизатропное_плазмохическое_травление.pdf2.43 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.