Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Получение маскирующих покрытий методом электронной литографии для сухого травления |
| Authors: | Хоробров В. С. Паранин В. Д. |
| Keywords: | BOSCH процессы кремниевая подложка маска маскирующие покрытия сухое травление технологические процессы шаблон электронная литография |
| Issue Date: | 2020 |
| Citation: | Хоробров, В. С. Получение маскирующих покрытий методом электронной литографии для сухого травления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / В. С. Хоробров ; рук. работы В. Д. Паранин ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т. - Самара, 2020. - on-line |
| Abstract: | Проведён поиск необходимой литературы в области микро- и нанотехнологий. Обоснована целесообразность использования конкретных методов травления и литографии для проведения технологического процесса. Проведена оптимизация технологического процесса сухого травления приповерхностного слоя кремния. В ходе ВКР была получена технология прямого литографического процесса с высоким разрешением и возможностью создания квазинепрерывного профиля, позволяющая производить быстрое прототипирование устройств в приповерхностном слое кремния. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51274 |
| Appears in Collections: | Выпускные квалификационные работы |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Хоробров_Виталий_Сергеевич_Получение_маскирующих_покрытий_методом.pdf | 1.71 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.