1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 05. Выпускные квалификационные работы
  3. Выпускные квалификационные работы
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorХоробров В. С.
dc.contributor.authorПаранин В. Д.
dc.coverage.spatialтехнологические процессы
dc.coverage.spatialэлектронная литография
dc.coverage.spatialшаблон
dc.coverage.spatialBOSCH процессы
dc.coverage.spatialкремниевая подложка
dc.coverage.spatialмаска
dc.coverage.spatialмаскирующие покрытия
dc.coverage.spatialсухое травление
dc.creatorХоробров В. С.
dc.date2020
dc.date.accessioned2025-11-27T12:27:11Z-
dc.date.available2025-11-27T12:27:11Z-
dc.date.issued2020
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20200914152041
dc.identifier.citationХоробров, В. С. Получение маскирующих покрытий методом электронной литографии для сухого травления : вып. квалификац. работа по направлению подгот. 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (уровень бакалавриата) / В. С. Хоробров ; рук. работы В. Д. Паранин ; М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и электроники, Фак-т. - Самара, 2020. - on-line
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/51274-
dc.description.abstractПроведён поиск необходимой литературы в области микро- и нанотехнологий. Обоснована целесообразность использования конкретных методов травления и литографии для проведения технологического процесса. Проведена оптимизация технологического процесса сухого травления приповерхностного слоя кремния. В ходе ВКР была получена технология прямого литографического процесса с высоким разрешением и возможностью создания квазинепрерывного профиля, позволяющая производить быстрое прототипирование устройств в приповерхностном слое кремния.
dc.subjectBOSCH процессы
dc.subjectэлектронная литография
dc.subjectшаблон
dc.subjectтехнологические процессы
dc.subjectсухое травление
dc.subjectмаскирующие покрытия
dc.subjectкремниевая подложка
dc.subjectмаска
dc.subject.rugasnti47.13.11
dc.subject.udc621.3.049.77
dc.titleПолучение маскирующих покрытий методом электронной литографии для сухого травления
dc.typeText
local.contributor.authorматематики и электроники
local.contributor.authorИнститут информатики
local.contributor.authorМинистерство науки и высшего образования Российской Федерации
local.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Poluchenie-maskiruushih-pokrytii-metodom-elektronnoi-litografii-dlya-suhogo-travleniya-vyp-kvalifikac-rabota-po-napravleniu-podgot-110304-Elektronika-i-nanoelektronika-uroven-bakalavriata-87679
Appears in Collections:Выпускные квалификационные работы

Files in This Item:
File SizeFormat 
Хоробров_Виталий_Сергеевич_Получение_маскирующих_покрытий_методом.pdf1.71 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.