| Title: | Исследование технологической воспроизводимости тонкопленочных гибридных интегральных схем |
| Authors: | Случаев К. Л. Воробьев С. И. Валитова Ф. К. |
| Keywords: | воспроизводимость микросборок микросборки технологическая воспроизводимость схем тонкопленочные гибридные интегральные схемы |
| Issue Date: | 1995 |
| Citation: | Случаев, К. Л. Исследование технологической воспроизводимости тонкопленочных гибридных интегральных схем / К. Л. Случаев, С. И. Воробьев ; науч. руководитель Ф. К. Валитова // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 103. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/9802 |
| Appears in Collections: | Королевские чтения |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр.-103.pdf | 39.8 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.