Исследование технологической воспроизводимости тонкопленочных гибридных интегральных схем

Случаев К. Л.; Воробьев С. И.; Валитова Ф. К.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Случаев К. Л.
dc.contributor.author	Воробьев С. И.
dc.contributor.author	Валитова Ф. К.
dc.coverage.spatial	воспроизводимость микросборок
dc.coverage.spatial	микросборки
dc.coverage.spatial	технологическая воспроизводимость схем
dc.coverage.spatial	тонкопленочные гибридные интегральные схемы
dc.creator	Случаев К. Л., Воробьев С. И.
dc.date	1995
dc.date.accessioned	2025-08-22T12:14:22Z	-
dc.date.available	2025-08-22T12:14:22Z	-
dc.date.issued	1995
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\533895
dc.identifier.citation	Случаев, К. Л. Исследование технологической воспроизводимости тонкопленочных гибридных интегральных схем / К. Л. Случаев, С. И. Воробьев ; науч. руководитель Ф. К. Валитова // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 103.
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/9802	-
dc.source	Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.]. - Текст : электронный
dc.subject	воспроизводимость микросборок
dc.subject	микросборки
dc.subject	технологическая воспроизводимость схем
dc.subject	тонкопленочные гибридные интегральные схемы
dc.title	Исследование технологической воспроизводимости тонкопленочных гибридных интегральных схем
dc.type	Text
dc.citation.spage	103
local.contributor.author	Случаев К. Л.
local.contributor.author	Воробьев С. И.
local.contributor.author	Валитова Ф. К.
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Korolevskie-chteniya/Issledovanie-tehnologicheskoi-vosproizvodimosti-tonkoplenochnyh-gibridnyh-integralnyh-shem-103490
Appears in Collections:	Королевские чтения

Files in This Item:

File	Size	Format
Стр.-103.pdf	39.8 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record