Samara University Repository

1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
2. 04. Материалы конференций
3. Королевские чтения

Title:	Определение профиля элементов топологии микроэлектронных структур по анализу углового спектра излучения, дифрагировавшего на периодической структуре
Authors:	Давыдов Е. В. Копылов С. С. Сигал Е. Л. Беклемишев И. Л. Истомина Н. Л.
Keywords:	элементы топологии микроэлектронные структуры топология микроэлектронных структур угловой спектр излучения
Issue Date:	1995
Citation:	Давыдов, Е. В. Определение профиля элементов топологии микроэлектронных структур по анализу углового спектра излучения, дифрагировавшего на периодической структуре / Е. В. Давыдов, С. С. Копылов, Е. Л. Сигал ; науч. руководители И. Л. Беклемишев, Н. Л. Истомина // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 104-105.
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/9792
Appears in Collections:	Королевские чтения

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.