Определение профиля элементов топологии микроэлектронных структур по анализу углового спектра излучения, дифрагировавшего на периодической структуре

Давыдов Е. В.; Копылов С. С.; Сигал Е. Л.; Беклемишев И. Л.; Истомина Н. Л.

Samara University Repository

Welcome to the Samara University repository!

This is an open electronic archive created to preserve and disseminate the scientific results of our university. The works of researchers, faculty members, and students are available to everyone for academic and research purposes.

The repository contains dissertations, research articles, educational and methodological materials, monographs, and regulatory documents. The collections cover a wide range of fields: from aerospace technologies, engine engineering, and computer science to history, linguistics, mathematics, and ecology. The archive brings together the scientific heritage of the university, including materials prepared during the period of Samara State Aerospace University and Samara State University.

Looking for publications by author, title, date, or subject? Full-text search will provide relevant results. Want to explore the academic life more closely? Browse materials by the universityâs organizational units.

Descriptions of all publications and articles available in the repository can be found in the libraryâs electronic catalog. Staff and students can log in via the menu "Login -> My Resource Archive" using their personal account credentials (SSAU_id).

Use the archive for study, research, and professional development!

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Давыдов Е. В.
dc.contributor.author	Копылов С. С.
dc.contributor.author	Сигал Е. Л.
dc.contributor.author	Беклемишев И. Л.
dc.contributor.author	Истомина Н. Л.
dc.coverage.spatial	элементы топологии
dc.coverage.spatial	микроэлектронные структуры
dc.coverage.spatial	топология микроэлектронных структур
dc.coverage.spatial	угловой спектр излучения
dc.creator	Давыдов Е. В., Копылов С. С., Сигал Е. Л.
dc.date	1995
dc.date.accessioned	2025-08-22T12:14:21Z	-
dc.date.available	2025-08-22T12:14:21Z	-
dc.date.issued	1995
dc.identifier.identifier	RU\НТБ СГАУ\533903
dc.identifier.citation	Давыдов, Е. В. Определение профиля элементов топологии микроэлектронных структур по анализу углового спектра излучения, дифрагировавшего на периодической структуре / Е. В. Давыдов, С. С. Копылов, Е. Л. Сигал ; науч. руководители И. Л. Беклемишев, Н. Л. Истомина // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 104-105.
dc.identifier.uri	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/9792	-
dc.source	Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.]. - Текст : электронный
dc.subject	элементы топологии
dc.subject	микроэлектронные структуры
dc.subject	топология микроэлектронных структур
dc.subject	угловой спектр излучения
dc.title	Определение профиля элементов топологии микроэлектронных структур по анализу углового спектра излучения, дифрагировавшего на периодической структуре
dc.type	Text
dc.citation.epage	105
dc.citation.spage	104
local.contributor.author	Давыдов Е. В.
local.contributor.author	Копылов С. С.
local.contributor.author	Сигал Е. Л.
local.contributor.author	Беклемишев И. Л.
local.contributor.author	Истомина Н. Л.
local.identifier.olduri	http://repo.ssau.ru/handle/Korolevskie-chteniya/Opredelenie-profilya-elementov-topologii-mikroelektronnyh-struktur-po-analizu-uglovogo-spektra-izlucheniya-difragirovavshego-na-periodicheskoi-strukture-103492
Appears in Collections:	Королевские чтения

Files in This Item:

File	Size	Format
Стр.-104-105.pdf	75.31 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record