Samara University Repository

1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
2. 04. Материалы конференций
3. Королевские чтения

Title:	Электрофизические параметры гетероструктур SIC/SI, полученных методом магнетронного распыления
Authors:	Танеев А. В. Щербак А. В.
Keywords:	гетероструктуры SiC/Si карбид кремния SiC метод магнетронного распыления пленки карбида кремния эндотаксия
Issue Date:	2021
Citation:	Танеев, А. В. Электрофизические параметры гетероструктур SIC/SI, полученных методом магнетронного распыления. - Текст : электронный / А. В. Танеев, А. В. Щербак // XVI Королевские чтения : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 60-летию полета в космос Ю. А. Гагарина : сб. материалов : 5-7 окт. 2021 г. : в 3 т. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2021. - Т. 1. - С. 375-376
URI:	http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/8600
Appears in Collections:	Королевские чтения

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.