1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Королевские чтения
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorТанеев А. В.
dc.contributor.authorЩербак А. В.
dc.coverage.spatialгетероструктуры SiC/Si
dc.coverage.spatialкарбид кремния SiC
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыления
dc.coverage.spatialпленки карбида кремния
dc.coverage.spatialэндотаксия
dc.creatorТанеев А. В., Щербак А. В.
dc.date2021
dc.date.accessioned2025-08-22T12:12:32Z-
dc.date.available2025-08-22T12:12:32Z-
dc.date.issued2021
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\471408
dc.identifier.citationТанеев, А. В. Электрофизические параметры гетероструктур SIC/SI, полученных методом магнетронного распыления. - Текст : электронный / А. В. Танеев, А. В. Щербак // XVI Королевские чтения : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 60-летию полета в космос Ю. А. Гагарина : сб. материалов : 5-7 окт. 2021 г. : в 3 т. / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2021. - Т. 1. - С. 375-376
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/8600-
dc.languagerus
dc.relation.ispartofXVI Королевские чтения : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 60-летию полета в космос Ю. А. Гагарина : сб. материалов : 5-7 окт. 2021 г. : в 3 т.
dc.sourceXVI Королевские чтения. - Т. 1
dc.subjectгетероструктуры SiC/Si
dc.subjectкарбид кремния SiC
dc.subjectметод магнетронного распыления
dc.subjectпленки карбида кремния
dc.subjectэндотаксия
dc.titleЭлектрофизические параметры гетероструктур SIC/SI, полученных методом магнетронного распыления
dc.typeText
dc.citation.epage376
dc.citation.spage375
dc.citation.volume1
local.contributor.authorТанеев А. В.
local.contributor.authorЩербак А. В.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Elektrofizicheskie-parametry-geterostruktur-SICSI-poluchennyh-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-92987
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Elektrofizicheskie-parametry-geterostruktur-SICSI-poluchennyh-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-92987
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
978-5-7883-1668-0_2021-375-376.pdf602.95 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.