Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Разработка частной модели электродиффузионных процессов в алюминиевой металлизации интегральных микросхем |
| Authors: | Тукмаков К. Н. Арефьев М. В. Архипов А. В. |
| Keywords: | алюминиевая металлизация микросхем частная модель электродиффузионных процессов электродиффузионные процессы интегральные микросхемы |
| Issue Date: | 2005 |
| Citation: | Тукмаков, К. Н. Разработка частной модели электродиффузионных процессов в алюминиевой металлизации интегральных микросхем / К. Н. Тукмаков, М. В. Арефьев ; науч. руководитель А. В. Архипов // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 265. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/7890 |
| Appears in Collections: | Королевские чтения |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр. 265.pdf | 57.1 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.