1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Королевские чтения
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorТукмаков К. Н.
dc.contributor.authorАрефьев М. В.
dc.contributor.authorАрхипов А. В.
dc.coverage.spatialалюминиевая металлизация микросхем
dc.coverage.spatialчастная модель электродиффузионных процессов
dc.coverage.spatialэлектродиффузионные процессы
dc.coverage.spatialинтегральные микросхемы
dc.creatorТукмаков К. Н., Арефьев М. В.
dc.date2005
dc.date.accessioned2025-08-22T12:14:21Z-
dc.date.available2025-08-22T12:14:21Z-
dc.date.issued2005
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\458742
dc.identifier.citationТукмаков, К. Н. Разработка частной модели электродиффузионных процессов в алюминиевой металлизации интегральных микросхем / К. Н. Тукмаков, М. В. Арефьев ; науч. руководитель А. В. Архипов // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 265.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/7890-
dc.sourceVIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. - Текст : электронный
dc.subjectалюминиевая металлизация микросхем
dc.subjectчастная модель электродиффузионных процессов
dc.subjectэлектродиффузионные процессы
dc.subjectинтегральные микросхемы
dc.titleРазработка частной модели электродиффузионных процессов в алюминиевой металлизации интегральных микросхем
dc.typeText
dc.citation.spage265
local.contributor.authorТукмаков К. Н.
local.contributor.authorАрефьев М. В.
local.contributor.authorАрхипов А. В.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Razrabotka-chastnoi-modeli-elektrodiffuzionnyh-processov-v-aluminievoi-metallizacii-integralnyh-mikroshem-Tekst-elektronnyi-90084
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр. 265.pdf57.1 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.