Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Устройство экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек |
| Authors: | Ивлиев Н. А. Колпаков А. И. |
| Keywords: | трибометрический метод экспресс-контроль чистоты чистота поверхности подложек гибридные интегральные микросхемы методы измерения чистоты поверхности подложек микроминиатюризация микросхем |
| Issue Date: | 2005 |
| Citation: | Ивлиев, Н. А. Устройство экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек / Н. А. Ивлиев ; науч. руководитель А. И. Колпаков // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 245. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/7884 |
| Appears in Collections: | Королевские чтения |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр. 245.pdf | 53.13 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.