1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Королевские чтения
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorИвлиев Н. А.
dc.contributor.authorКолпаков А. И.
dc.coverage.spatialтрибометрический метод
dc.coverage.spatialэкспресс-контроль чистоты
dc.coverage.spatialчистота поверхности подложек
dc.coverage.spatialгибридные интегральные микросхемы
dc.coverage.spatialметоды измерения чистоты поверхности подложек
dc.coverage.spatialмикроминиатюризация микросхем
dc.creatorИвлиев Н. А.
dc.date2005
dc.date.accessioned2025-08-22T12:14:20Z-
dc.date.available2025-08-22T12:14:20Z-
dc.date.issued2005
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\458656
dc.identifier.citationИвлиев, Н. А. Устройство экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек / Н. А. Ивлиев ; науч. руководитель А. И. Колпаков // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 245.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/7884-
dc.sourceVIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. - Текст : электронный
dc.subjectтрибометрический метод
dc.subjectэкспресс-контроль чистоты
dc.subjectчистота поверхности подложек
dc.subjectгибридные интегральные микросхемы
dc.subjectметоды измерения чистоты поверхности подложек
dc.subjectмикроминиатюризация микросхем
dc.titleУстройство экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек
dc.typeText
dc.citation.spage245
local.contributor.authorИвлиев Н. А.
local.contributor.authorКолпаков А. И.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Ustroistvo-ekspresskontrolya-stepeni-chistoty-poverhnosti-podlozhek-Tekst-elektronnyi-90064
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр. 245.pdf53.13 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.