Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Прибор контроля параметров металлизации интегральных микросхем |
| Authors: | Арефьев М. В. Тукмаков К. Н. Архипов А. В. |
| Keywords: | сильноточная металлизация интегральные микросхемы металлизация интегральных микросхем микроэлектроника параметры металлизации микросхем прибор контроля параметров металлизации приборы контроля |
| Issue Date: | 2005 |
| Citation: | Арефьев, М. В. Прибор контроля параметров металлизации интегральных микросхем / М. В. Арефьев, К. Н. Тукмаков ; науч. руководитель А. В. Архипов // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 238. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/7875 |
| Appears in Collections: | Королевские чтения |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр. 238.pdf | 57.21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.