1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Королевские чтения
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorАрефьев М. В.
dc.contributor.authorТукмаков К. Н.
dc.contributor.authorАрхипов А. В.
dc.coverage.spatialсильноточная металлизация
dc.coverage.spatialинтегральные микросхемы
dc.coverage.spatialметаллизация интегральных микросхем
dc.coverage.spatialмикроэлектроника
dc.coverage.spatialпараметры металлизации микросхем
dc.coverage.spatialприбор контроля параметров металлизации
dc.coverage.spatialприборы контроля
dc.creatorАрефьев М. В., Тукмаков К. Н.
dc.date2005
dc.date.accessioned2025-08-22T12:14:21Z-
dc.date.available2025-08-22T12:14:21Z-
dc.date.issued2005
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\458640
dc.identifier.citationАрефьев, М. В. Прибор контроля параметров металлизации интегральных микросхем / М. В. Арефьев, К. Н. Тукмаков ; науч. руководитель А. В. Архипов // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 238.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/7875-
dc.sourceVIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. - Текст : электронный
dc.subjectсильноточная металлизация
dc.subjectинтегральные микросхемы
dc.subjectметаллизация интегральных микросхем
dc.subjectмикроэлектроника
dc.subjectпараметры металлизации микросхем
dc.subjectприбор контроля параметров металлизации
dc.subjectприборы контроля
dc.titleПрибор контроля параметров металлизации интегральных микросхем
dc.typeText
dc.citation.spage238
local.contributor.authorАрефьев М. В.
local.contributor.authorТукмаков К. Н.
local.contributor.authorАрхипов А. В.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Pribor-kontrolya-parametrov-metallizacii-integralnyh-mikroshem-Tekst-elektronnyi-90057
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр. 238.pdf57.21 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.