Samara University Repository
Welcome!
| Title: | Компьютерное моделирование процесса химического травления микроструктур |
| Authors: | Лачин М. А. Саноян А. Г. |
| Keywords: | радиоэлектронные средства травление кремния травление оксидных пленок химическое травление компьютерное моделирование моделирование технологических процессов процесс химического травления |
| Issue Date: | 2005 |
| Citation: | Лачин, М. А. Компьютерное моделирование процесса химического травления микроструктур / М. А. Лачин ; науч. руководитель А. Г. Саноян // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 252. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/7856 |
| Appears in Collections: | Королевские чтения |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр. 252.pdf | 46.76 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.