1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Королевские чтения
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЛачин М. А.
dc.contributor.authorСаноян А. Г.
dc.coverage.spatialрадиоэлектронные средства
dc.coverage.spatialтравление кремния
dc.coverage.spatialтравление оксидных пленок
dc.coverage.spatialхимическое травление
dc.coverage.spatialкомпьютерное моделирование
dc.coverage.spatialмоделирование технологических процессов
dc.coverage.spatialпроцесс химического травления
dc.creatorЛачин М. А.
dc.date2005
dc.date.accessioned2025-08-22T12:14:20Z-
dc.date.available2025-08-22T12:14:20Z-
dc.date.issued2005
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\458677
dc.identifier.citationЛачин, М. А. Компьютерное моделирование процесса химического травления микроструктур / М. А. Лачин ; науч. руководитель А. Г. Саноян // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 252.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/7856-
dc.sourceVIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. - Текст : электронный
dc.subjectрадиоэлектронные средства
dc.subjectтравление кремния
dc.subjectтравление оксидных пленок
dc.subjectхимическое травление
dc.subjectкомпьютерное моделирование
dc.subjectмоделирование технологических процессов
dc.subjectпроцесс химического травления
dc.titleКомпьютерное моделирование процесса химического травления микроструктур
dc.typeText
dc.citation.spage252
local.contributor.authorЛачин М. А.
local.contributor.authorСаноян А. Г.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Komputernoe-modelirovanie-processa-himicheskogo-travleniya-mikrostruktur-Tekst-elektronnyi-90071
Appears in Collections:Королевские чтения

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр. 252.pdf46.76 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.