1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры
Authors: Осипов А. Н.
Филимонова М. Н.
Keywords: тонкопленочные структуры
тонкая алюминевая пленка
тонкие пленки алюминия
рост тонких пленок
компьютерное моделирование
Issue Date: 2007
Citation: Осипов, А. Н. Моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры / А. Н. Осипов, М. Н. Филимонова // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - Самара : СГАУ, 2007. - С. 160-162.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6977
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-160-162.pdf68.71 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.