1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorОсипов А. Н.
dc.contributor.authorФилимонова М. Н.
dc.coverage.spatialтонкопленочные структуры
dc.coverage.spatialтонкая алюминевая пленка
dc.coverage.spatialтонкие пленки алюминия
dc.coverage.spatialрост тонких пленок
dc.coverage.spatialкомпьютерное моделирование
dc.creatorОсипов А. Н., Филимонова М. Н.
dc.date2007
dc.date.accessioned2025-08-22T12:09:40Z-
dc.date.available2025-08-22T12:09:40Z-
dc.date.issued2007
dc.identifier.identifierRU\НТБ СГАУ\534564
dc.identifier.citationОсипов, А. Н. Моделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры / А. Н. Осипов, М. Н. Филимонова // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - Самара : СГАУ, 2007. - С. 160-162.
dc.identifier.urihttp://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6977-
dc.languagerus
dc.sourceАктуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г.
dc.subjectтонкопленочные структуры
dc.subjectтонкая алюминевая пленка
dc.subjectтонкие пленки алюминия
dc.subjectрост тонких пленок
dc.subjectкомпьютерное моделирование
dc.titleМоделирование технологического процесса роста тонких пленок заданной структуры
dc.typeText
dc.citation.epage162
dc.citation.spage160
local.contributor.authorОсипов А. Н.
local.contributor.authorФилимонова М. Н.
local.identifier.oldurihttp://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Modelirovanie-tehnologicheskogo-processa-rosta-tonkih-plenok-zadannoi-struktury-103701
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-160-162.pdf68.71 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.