Title: Исследование механизмов формирования технологически чистой поверхности
Authors: Казанский Н. Л.
Колпаков В. А.
Колпаков А. И.
Кричевский С. В.
Keywords: технологическая чистота поверхности подложек
УВН-2М-1
диэлектрические подложки
Issue Date: 2007
Citation: Исследование механизмов формирования технологически чистой поверхности / Н. Л. Казанский, В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - Самара : СГАУ, 2007. - С. 46-48.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6976
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-46-48.pdf73.59 kBAdobe PDFView/Open


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.