| Title: | Исследование механизмов формирования технологически чистой поверхности |
| Authors: | Казанский Н. Л. Колпаков В. А. Колпаков А. И. Кричевский С. В. |
| Keywords: | технологическая чистота поверхности подложек УВН-2М-1 диэлектрические подложки |
| Issue Date: | 2007 |
| Citation: | Исследование механизмов формирования технологически чистой поверхности / Н. Л. Казанский, В. А. Колпаков, А. И. Колпаков, С. В. Кричевский // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций [Электронный ресурс] : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 14 - 16 мая 2007 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; [под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова]. - Самара : СГАУ, 2007. - С. 46-48. |
| URI: | http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6976 |
| Appears in Collections: | Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| Стр.-46-48.pdf | 73.59 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.