1. Репозиторий Самарского национального исследовательского университета имени академика С.П. Королёва
  2. 04. Материалы конференций
  3. Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций
Title: Процесс формирования квазимонокристаллических тонкопленочных систем методом искусственной эпитаксии
Authors: Осипов А. Н.
Keywords: квазимонокристаллические тонкопленочные системы
искусственная эпитаксия
интегральные микросхемы
метод искусственной эпитаксии
эпитаксиальные процессы
структура пленок
формирование тонкопленочных систем
Issue Date: 2005
Citation: Осипов, А. Н. Процесс формирования квазимонокристаллических тонкопленочных систем методом искусственной эпитаксии / А. Н. Осипов // Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. / М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; под ред. И. Г. Мироненко, М. Н. Пиганова. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 160-172.
URI: http://repo.ssau.ru/jspui/handle/123456789/6866
Appears in Collections:Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций

Files in This Item:
File SizeFormat 
Стр.-160-172.pdf884.36 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.